Fabbricazione di semiconduttori

Assembly Area
In the production of semiconductors and integrated circuits, excessive moisture adversely effects the bonding process and increases defects. Photosensitive polymer compounds called photoresists are used to mask circuit lines for the etching process. Due to its hygroscopic nature, this material absorbs moisture resulting in the microscopic circuits being cut or bridged, leading to component failure.

Wafer Fabrication Area
During wafer manufacture, the spinners spray developer on the wafer surface, causing the solvent present on the wafer to evaporate rapidly, thereby cooling the wafer surface. This results in condensation of water vapor from the air on the wafer surface. This extra water on the wafer causes characteristics of the developer to change.  Moisture absorption also causes the polymer to swell. Controlling relative humidity eliminates the possibility of cooling the wafer's surface lower than the dew point of the ambient air, thus preventing failure and spoilage.

Photolithography Room
Excessive moisture within a photolithography room causes the silica to absorb moisture, resulting in improper adhesion of photoresistors, leading to stress fractures and surface defects.

Faster Vacuum Pump-Down
When humidity levels are too high, operation of vacuum equipment, like Cryopump, is slowed down due to the large water vapor load. When the RH levels are reduced, batch processing speeds can be increased, resulting in improved productivity.

Protection of EPI equipment
Water vapor or moisture condenses on chilled surfaces of epitaxial equipment, causing components to corrode, resulting in operation failure and process slow down.

Oltre a creare condizioni di aerazione ottimali, Munters offre una gamma di prodotti Zeol per l’abbattimento dei VOC, in grado di pulire l’aria di scarico carica di composti organici volatili (VOC), generata dal processo di fabbricazione dei semiconduttori. I VOC sono dannosi per la salute e l’ambiente e devono essere abbattuti.  Il roto-concentratore a zeolite può ridurre notevolmente i costi relativi, grazie a un’efficace concentrazione dei VOC. 

Per quanto riguarda l’industria dei semiconduttori, con piani di fabbricazione lungo le 24 ore sette giorni su sette, i vantaggi principali, derivanti dall’uso del sistema a roto-concentratore, consistono in un’elevata affidabilità, uno scarico regolare con minime oscillazioni di pressione e risparmi considerevoli sui costi operativi. Il sistema Munters concentra grandi volumi di scarico, contenenti basse concentrazioni di VOC, in un piccolo flusso concentrato, che può essere efficacemente distrutto, a costi ragionevoli, mediante un ossidatore. Il calo di pressione attraverso il sistema è basso, il che contribuisce a ridurre il consumo di energia elettrica necessaria per il funzionamento degli aspiratori.

I sistemi dei roto-concentratori a zeolite Munters rappresentano la tecnologia più avanzata per l’abbattimento dei composti organici volatili (VOC). Gli oltre 200 sistemi attualmente in servizio sono installati in alcune tra le più rinomate aziende del mondo.  Munters ha sperimentato per prima lo sviluppo della zeolite idrofobica per l'assorbimento dei VOC. I sistemi per l’abbattimento dei VOC Munters consentono di raggiungere una percentuale > 95% di efficienza di distruzione-rimozione (DRE) dei VOC, riducendo altresì i costi del combustibile del 30-50% rispetto agli ossidatori indipendenti.