Yarı iletken üretimi
Nem ve emisyon kontrolü ile üretim kalitesini artırın
Yarı iletken üretimi, sıkı kontrollü, kuru koşullar gerektirir. Munters kurutucu nem alma cihazları, hassas nem kontrolü sağlayarak üretim ve montaj için ideal üretim koşullarını oluşturur.
Havadaki aşırı nem, devre noktalarında korozyona, mikroçip devre yüzeylerinde yoğuşmaya ve fotorezistörlerin yetersiz yapışmasına neden olarak yarı iletken montaj sürecinin çalışma arızasına neden olur.
Munters'ın dünya lideri kurutucu rotor nem alma sistemleri havadaki nemi etkili bir şekilde gidererek kuru odalarınızda ve temiz odalarda hassas ve tutarlı nem kontrolü sağlar.
Ayrıca, Munters enerji verimli zeolit adsorpsiyon teknolojisi, yarı iletken üretim proseslerinden uçucu organik bileşik (VOC) emisyonlarını yakalar ve işler. Bu emisyonların atmosfere salınmasının önlenmesi insan sağlığının ve çevrenin korunmasına yardımcı olur.
Yarı iletken üretimindeki uygulamalar
Montaj alanı
Aşırı nem, yarı iletken ve entegre devre üretimi sırasında yapıştırma sürecini olumsuz etkileyebilir ve kusurları artırabilir.
Aşındırma işlemi için devre hatlarının fotorezist olarak adlandırılan ışığa duyarlı polimer bileşiklerle maskelenmesi, etkili bir bağlamanın sağlanmasına yardımcı olur.
Bu malzeme, higroskobik yapısı nedeniyle nemi emerek mikroskobik devrelerin kesilmesine veya köprülenmesine neden olur ve bu da bileşen arızasına neden olabilir.
Yarı iletken üretimi için VOC azaltımı
Munters, optimum hava koşullarının yanı sıra uçucu organik bileşikler (VOC) içeren egzoz havasını temizlemek için bir dizi VOC azaltma ürünü de sunmaktadır.
Yarı iletken üretim süreci VOC açısından zengin egzoz havası üretir. Bu bileşikler insan sağlığına ve çevreye zararlıdır ve egzoz havası atmosfere salınmadan önce azaltılmalıdır. VOC rotor yoğunlaştırıcı, VOC'leri azaltmadan önce etkili bir şekilde konsantre ederek emisyon azaltma maliyetlerini azaltmaya yardımcı olur.
Avantajlar:
- Yüksek tahribat verimliliği
- Çevrenin korunması
- Yasal gereklilikleri karşılamaya yardımcı olur
- Daha sağlıklı bir çalışma ortamı
- Yakıt ve elektrik maliyetlerinde önemli ölçüde azalma
Epitaksiyel ekipman koruması
Su buharı veya nem, epitaksiyel ekipmanın soğuk yüzeylerinde yoğuşarak bileşenlerin korozyona uğramasına neden olarak prosesin yavaşlamasına ve operasyonel arızaya neden olur.
Avantajlar:
- Hassas kontrollü koşullar
- Üstün kalite
- Daha yüksek tutarlılık
- Daha hızlı üretim
- Daha düşük işletme maliyetleri
Disk üretim alanı
Döndürücüler, üretim sırasında disk yüzeyine geliştirici püskürterek solventin hızlı bir şekilde buharlaşmasına ve yüzeyin soğumasına neden olur.
Sonuç olarak havadaki su buharı disk yüzeyinde yoğuşur. Disk üzerinde yoğuşma gerçekleştiğinde geliştiricinin özellikleri değişmeye başlar. Nem absorpsiyonu polimerin şişmesine de neden olur.
Bağıl nemin kontrol edilmesi, ortam havasının çiy noktasını azaltarak levha yüzeyindeki yoğuşmayı ortadan kaldırır ve arıza ve bozulmayı önler.
Daha hızlı vakumlu pompalama
Aşırı nem seviyeleri, kriyo pompalar gibi vakum ekipmanlarının büyük su buharı yükü nedeniyle çalışmasını yavaşlatabilir.
Bağıl nem seviyelerinin azaltılması, parti işleme hızlarını artırarak üretkenliği iyileştirir.
Fotolitografi odası
Fotolitografi odasında aşırı nem, silikanın nemi emmesine neden olarak fotorezistörlerin düzgün yapışmamasına yol açarak gerilim kırıklarına ve yüzey kusurlarına neden olur.
