Tillverkning av halvledare
Ökad kvalitet på tillverkningen med kontroll av luftfuktighet och utsläpp
Tillverkning av halvledare kräver noggrant kontrollerade och torra förhållanden. Munters sorptionsavfuktare ger exakt fuktreglering och skapar idealiska förhållanden för tillverkning och montering.
Alltför hög luftfuktighet orsakar rost i kretsarna, kondens på ytan av mikrochippens kretskort och dålig vidhäftning av fotolack. Det leder till driftfel i halvledarnas sammansättningsprocess.
Munters världsledande avfuktningssystem med sorptionsrotor avlägsnar effektivt fukt från luften, vilket möjliggör exakt och stabil fuktreglering i torrum och renrum.
Dessutom fångar Munters energieffektiva zeolit-adsorptionsteknik upp och behandlar flyktiga organiska föreningar (VOC) som släpps ut från tillverkningsprocessen av halvledare. Att förhindra VOC-utsläpp bidrar till att skydda miljön och hälsa.
Tillämpningar inom halvledartillverkning
Monteringsområde
Hög fuktighet kan påverka bindningsprocessen negativt under produktion av halvledare och integrerade kretsar och öka mängden defekter.
Maskering av kretsar för etsningsprocessen med ljuskänsliga polymerföreningar, så kallad fotoresist, hjälper till att säkerställa effektiv vidhäftning.
På grund av sin hygroskopiska natur absorberar detta material fukt. Det kan leda till att de mikroskopiska kretsarna bryts eller överbryggas, vilket kan orsaka komponentfel.
VOC-reduktion vid halvledartillverkning
Förutom att skapa optimala luftförhållanden erbjuder Munters en rad produkter för VOC-reduktion som rengör frånluften med höga koncentrationer av flyktiga organiska föreningar (VOC).
Vid tillverkningen av halvledare produceras flyktiga organiska föreningar som måste reduceras innan frånluften släpps ut, då de är skadliga för både miljö och hälsa. En rotorkoncentrator minskar kostnaderna för utsläppsminskning genom att effektivt koncentrera VOC före reduktionen.
Fördelar:
- Effektiv destruktion
- Skyddar miljön
- Hjälper till att uppfylla lagkrav
- Hälsosammare arbetsmiljö
- Betydligt lägre bränsle- och elkostnader
Skydd av epitaxiell utrustning
Vattenånga eller fukt kondenserar på kylda ytor i epitaxiell utrustning och det får komponenter att korrodera, vilket resulterar i långsammare bearbetning och driftsfel.
Fördelar:
- Exakt kontrollerade förhållanden
- Högre kvalitet
- Jämnare kvalitet
- Snabbare produktion
- Lägre driftskostnader
Område tillverkning av kiselplattor
Spinnare sprayar framkallare på kiselplattans yta under tillverkningen, vilket får lösningsmedlet att avdunsta snabbt och kyla ner ytan.
Som ett resultat kondenseras vattenånga från luften på ytan. När kondens bildas på kiselplattan förändras egenskaperna i framkallaren. Fuktabsorption gör också att polymeren sväller.
Genom att den relativa luftfuktigheten kontrolleras sänks daggpunkten för den omgivande luften, vilket eliminerar kondens på kiselplattans yta och förhindrar fel.
Snabbare vakuumevakuering
Hög luftfuktighet gör att vakuumutrustning, som kryopumpar, behöver längre tid på grund av den stora ångbelastningen.
Genom att minska den relativa luftfuktigheten ökar man bearbetningshastigheterna och förbättrar produktiviteten.
Fotolitografirum
Hög luftfuktighet i ett fotolitografirum gör att kiseldioxiden absorberar fukt. Det resulterar i felaktig vidhäftning för fotoresistorerna, vilket i sin tur leder till stressfrakturer och ytdefekter.
