Fabricação de semicondutores
Aumente a qualidade da fabricação com controle de umidade e de emissões
A fabricação de semicondutores exige condições secas e rigorosamente controladas. Os desumidificadores dessecantes da Munters fornecem controle preciso da umidade, criando condições ideais de fabricação e montagem.
O excesso de umidade no ar causa corrosão dos pontos do circuito, condensação nas superfícies do circuito dos microchips e aderência inadequada das fotorresistências, causando falha operacional do processo de montagem de semicondutores.
Os sistemas de desumidificação por rotor dessecante da Munters, líderes mundiais, removem eficazmente a umidade do ar, permitindo um controle preciso e consistente da umidade em suas salas secas e estéreis.
Além disso, a tecnologia de adsorção de zeólito com eficiência energética da Munters captura e trata as emissões de compostos orgânicos voláteis (COVs) dos processos de produção de semicondutores. Evitar a liberação dessas emissões na atmosfera ajuda a proteger a saúde dos seres humanos e o meio ambiente.
Aplicações na fabricação de semicondutores
Área de montagem
O excesso de umidade pode afetar adversamente o processo de fixação durante a produção de semicondutores e circuitos integrados aumentando os defeitos.
O mascaramento de linhas de circuito para o processo de gravação com compostos poliméricos fotossensíveis chamados de fotorresistências ajuda a garantir uma fixação eficaz.
Devido à sua natureza higroscópica, esse material absorve umidade, resultando em corte ou conexão dos circuitos microscópicos, o que pode causar falha do componente.
Redução de COVs para fabricação de semicondutores
Além de criar condições de ar ideais, a Munters oferece uma linha de produtos de redução de COVs para purificar o ar de exaustão carregado de compostos orgânicos voláteis (COVs).
O processo de fabricação de semicondutores produz ar de exaustão rico em COVs. Esses compostos prejudicam a saúde do ser humano e o meio ambiente e precisam ser reduzidos antes de o ar de exaustão ser liberado para a atmosfera. Um concentrador de rotor para COVs ajuda a reduzir os custos de redução de emissões ao concentrar eficazmente os COVs antes da redução.
Vantagens:
- Alta eficiência de destruição
- Protege o meio ambiente
- Ajuda a cumprir as exigências legais
- Ambiente de trabalho mais saudável
- Custos de combustível e eletricidade consideravelmente menores
Proteção de equipamento epitaxial
O vapor de água ou a umidade se condensa nas superfícies resfriadas do equipamento epitaxial, causando a corrosão dos componentes e resultando em lentidão do processamento e falha operacional.
Vantagens:
- Condições controladas com precisão
- Qualidade superior
- Melhor consistência
- Produção mais rápida
- Custos operacionais reduzidos
Área de fabricação de wafer
Os spinners pulverizam o revelador na superfície do wafer durante a fabricação, fazendo com que o solvente se evapore rapidamente, resfriando a superfície.
Como isso, o vapor de água no ar se condensa na superfície do wafer. À medida que a condensação se forma no wafer, as características do revelador começam a mudar. A absorção de umidade também faz com que o polímero inche.
O controle da umidade relativa reduz o ponto de orvalho do ar ambiente, eliminando a condensação na superfície do wafer e evitando falhas e deterioração.
Bombeamento de vácuo mais rápido
Níveis excessivos de umidade geram lentidão na operação de equipamentos de vácuo, como bombas criogênicas, devido à grande carga de vapor de água.
Reduzir os níveis de umidade relativa aumenta as velocidades de processamento dos lotes, melhorando a produtividade.
Sala de fotolitografia
O excesso de umidade em uma sala de fotolitografia faz com que a sílica absorva umidade, resultando em aderência inadequada dos fotorresistores, o que leva a fraturas por tensão e defeitos na superfície.
