Produkcja półprzewodników
Poprawa jakości produkcji dzięki kontroli wilgotności i emisji
Aby produkować półprzewodniki, konieczne jest utrzymanie precyzyjnie kontrolowanych, suchych warunków. Osuszacze sorpcyjne Munters zapewniają precyzyjną kontrolę wilgotności, tworząc idealne warunki do produkcji i montażu.
Wysoka wilgotność powietrza powoduje, że punkty obwodu ulegają korozji, powierzchnie obwodów mikrochipowych pokrywają się kondensacją, a fotomaski nieprawidłowo przylegają, co może prowadzić do nieprawidłowego działania procesu montażu półprzewodników.
Wiodące na świecie systemy Munters do osuszania sorpcyjnego z rotorem skutecznie usuwają wilgoć z powietrza, umożliwiając precyzyjną i spójną kontrolę wilgotności w suszarniach i pomieszczeniach czystych.
Ponadto energooszczędna technologia adsorpcji zeolitowej firmy Munters wychwytuje i przetwarza emisje lotnych związków organicznych (LZO) z procesów produkcji półprzewodników. Ochrona zdrowia ludzi i środowiska odnosi korzyść z zapobiegania uwalnianiu tych emisji do atmosfery.
Zastosowania w produkcji półprzewodników
Rejon montażu
Wysoki poziom wilgoci może mieć negatywny wpływ na proces łączenia w trakcie produkcji półprzewodników i układów scalonych, a także powodować wzrost liczby wad.
Wykorzystanie fotomaski, czyli fotoczułego związku polimerowego, do pokrywania linii obwodów przed procesem trawienia, pomaga zapewnić efektywne łączenie.
Ten materiał jest higroskopijny i absorbuje wilgoć, co może prowadzić do przerywania i mostkowania mikroskopijnych obwodów, co prowadzi do awarii komponentu.
Redukcja LZO w produkcji półprzewodników
Firma Munters zajmuje się nie tylko tworzeniem optymalnych warunków powietrza, ale również oferuje różnorodne produkty do oczyszczania powietrza wywiewanego, które jest obciążone lotnymi związkami organicznymi (LZO).
W procesie produkcji półprzewodników powstaje powietrze wywiewane bogate w LZO. Należy ograniczać uwalnianie tych substancji do atmosfery, ponieważ są one szkodliwe zarówno dla zdrowia człowieka, jak i dla środowiska. Rotorowy koncentrator LZO pomaga obniżyć koszty redukcji emisji poprzez skuteczne skoncentrowanie LZO przed oczyszczeniem.
Korzyści:
- Wysoka wydajność neutralizacji
- Chroni środowisko naturalne
- Pomaga spełniać wymogi prawne
- Zdrowsze środowisko pracy
- Znacznie niższe koszty paliwa i energii elektrycznej
Ochrona urządzeń do procesów epitaksjalnych
Na schłodzonych powierzchniach sprzętu epitaksjalnego tworzy się para wodna lub wilgoć, co powoduje korozję elementów. To z kolei prowadzi do spowolnienia procesu przetwarzania i awarii.
Korzyści:
- Precyzyjnie kontrolowane warunki
- Wysoka jakość
- Lepsza spójność
- Szybsza produkcja
- Niższe koszty eksplatacji
Obszar produkcji płytek
Wirówki nanoszą wywoływacz na płytkę w trakcie produkcji, co prowadzi do szybkiego odparowania rozpuszczalnika i ochłodzenia powierzchni.
W efekcie para wodna z powietrza kondensuje się na powierzchni płytki. W miarę jak kondensat tworzy się na płytce, właściwości wywoływacza zaczynają się zmieniać. W wyniku wchłaniania wilgoci pęcznieje również polimer.
Regulacja wilgotności względnej zmniejsza punkt rosy otaczającego powietrza, co eliminuje kondensację na powierzchni wafla, zapobiegając uszkodzeniom i zepsuciu.
Szybsze odpompowywanie do próżni
Zbyt wysoka wilgotność spowalnia działanie urządzeń próżniowych, w tym kriopomp, ze względu na znaczne obciążenie parą wodną.
Zmniejszenie wilgotności względnej przyspiesza przetwarzanie partii, co podnosi wydajność.
Pomieszczenie fotolitograficzne
Zbyt wysoka wilgotność w pomieszczeniu fotolitograficznym sprawia, że krzemionka pochłania wilgoć, co skutkuje nieprawidłową przyczepnością fotomasek, prowadząc do pęknięć naprężeniowych oraz wad powierzchni.
