Productie van halfgeleiders
Verhoog de productiekwaliteit met vochtigheids- en uitstootbeheersing
De productie van halfgeleiders vereist nauwkeurig beheerste, droge omstandigheden. De sorptieontvochtigers van Munters bieden nauwkeurige vochtigheidsbeheersing en creëren daardoor ideale productieomstandigheden voor productie en montage.
Overmatig vocht in de lucht veroorzaakt corrosie van circuitpunten, condensatie op oppervlakken van microchipcircuits en een slechte hechting van fotolak, waardoor het montageproces van halfgeleiders mislukt.
Munters' toonaangevende ontvochtigingssystemen met sorptierotor onttrekken effectief vocht aan de lucht, voor een nauwkeurige en consistente vochtigheidsbeheersing in dry rooms en cleanrooms.
Bovendien vangt Munters energiezuinige zeoliet adsorptietechnologie de uitstoot op van Vluchtige Organische Stoffen (VOS) uit de productieprocessen van halfgeleiders en verwerkt deze. Door te voorkomen dat deze uitstoot vrijkomt in de atmosfeer bescherm je de volksgezondheid en het milieu.
Toepassingen in de productie van halfgeleiders
Montagezone
Overmatig vocht kan het hechtproces tijdens de productie van halfgeleiders en geïntegreerde schakelingen nadelig beïnvloeden en leiden tot meer gebreken.
Het afdekken van circuitlijnen voor het etsproces met lichtgevoelige polymeerverbindingen (fotoresist) helpt om een effectieve hechting te waarborgen.
Door zijn hygroscopische karakter absorbeert dit materiaal vocht, waardoor de microscopische circuits worden doorgesneden of overbrugd, wat defecten aan onderdelen kan veroorzaken.
VOS-vermindering voor de productie van halfgeleiders
Naast het creëren van optimale luchtomstandigheden, biedt Munters een serie VOS-verminderingsproducten om afgevoerde lucht vol Vluchtige Organische Stoffen (VOS) te zuiveren.
Bij het productieproces van halfgeleiders ontstaat VOS-rijke uitlaatlucht. Deze verbindingen zijn schadelijk voor de volksgezondheid en het milieu en moeten worden beperkt voordat ze in de atmosfeer terechtkomen. Met een VOS-rotorconcentrator kun je de kosten voor uitstootvermindering verlagen door de VOS effectief te concentreren voordat ze worden verwijderd.
Voordelen:
- Zeer efficiënte vernietiging
- Bescherming van het milieu
- Helpt te voldoen aan wettelijke voorschriften
- Gezondere werkomgeving
- Aanzienlijk lagere brandstof- en elektriciteitskosten
Bescherming van epitaxiale apparatuur
Waterdamp of vocht condenseert op gekoelde oppervlakken van epitaxiale apparatuur, waardoor onderdelen corroderen, zodat het proces langzamer verloopt en er storingen optreden.
Voordelen:
- Nauwkeurig beheerste omstandigheden
- Hogere kwaliteit
- Verbeterde consistentie
- Snellere productie
- Lagere bedrijfskosten
Productiezone van wafers
Spinners sproeien ontwikkelaar op het waferoppervlak tijdens de productie, waardoor het oplosmiddel snel verdampt en het oppervlak afkoelt.
Hierdoor condenseert waterdamp in de lucht op het oppervlak van de wafer. Als er condensatie op de wafer ontstaat, beginnen de eigenschappen van de ontwikkelaar te veranderen. Door vochtopname zwelt ook de polymeer op.
Het beheersen van de relatieve vochtigheid verlaagt het dauwpunt van de omgevingslucht, waardoor condensatie op het oppervlak van de wafer wordt voorkomen en defecten en verspilling worden voorkomen.
Sneller vacuüm pompen
Een te hoge luchtvochtigheid veroorzaakt een vertraagde werking van vacuümapparatuur, zoals cryopompen, vanwege de grote waterdampbelasting.
Verlaging van de relatieve vochtigheid verhoogt de verwerkingssnelheid van batches, waardoor de productiviteit toeneemt.
Fotolithografieruimte
Een te hoge luchtvochtigheid in een fotolithografieruimte veroorzaakt vochtopname van het siliciumdioxide, met als gevolg een slechte hechting van de fotolakken, wat spanningsbreuken en oppervlaktedefecten veroorzaakt.
