Halvlederproduksjon
Øk produksjonskvaliteten med fuktighets- og utslippskontroll
Produksjon av halvledere krever kontrollerte, tørre forhold. Munters rotoravfuktere gir nøyaktige fuktighetskontroll, noe som skaper ideelle produksjonsforhold for produksjon og montering.
For mye fuktighet i luften forårsaker korrosjon på kretspunkter, kondens på kretsoverflaten til mikrobrikken og feil adhesjon av fotoresistorer, noe som fører til driftsfeil i monteringsprosessen av halvledere.
Munters verdensledende avfuktingssystemer for avfuktingsrotorer fjerner effektivt fuktighet fra luften, noe som muliggjør nøyaktig og konsekvent fuktighetskontroll i tørrom og renrom.
I tillegg fanger Munters energieffektive zeolittadsorpsjonsteknologi opp og behandler utslipp av flyktige organiske forbindelser (VOC) fra halvlederproduksjonsprosesser. Å hindre at disse utslippene slippes ut i atmosfæren bidrar til å beskytte menneskers helse og miljøet.
Bruksområder innen halvlederproduksjon
Monteringssted
For mye fuktighet kan påvirke limingsprosessen under produksjon av halvledere og integrerte kretser og øke defektene.
Maskering av kretslinjer for etseprosessen med fotosensitive polymerforbindelser kalt fotoresistorer bidrar til å sikre effektiv liming.
På grunn av dens hygroskopiske natur absorberer dette materialet fuktighet, noe som fører til at de mikroskopiske kretsene kuttes eller brokobles, noe som kan forårsake komponentsvikt.
VOC-reduksjon for halvlederproduksjon
I tillegg til å skape optimale luftforhold, tilbyr Munters en rekke produkter for VOC-reduksjon, som bidrar til å rense avtrekksluften som er ladet med flyktige organiske forbindelser (VOC).
Produksjonsprosessen av halvledere produserer VOC-rik avtrekksluft. Disse forbindelsene er skadelige for menneskers helse og miljøet, og må reduseres før avtrekksluft slippes ut i atmosfæren. En VOC-rotorkonsentrator bidrar til å redusere kostnadene til utslippsreduksjon ved å effektivt konsentrere VOC-ene før reduksjonsprosessen.
Fordelene:
- Høy destruksjonseffektivitet
- Beskytter miljøet
- Bidrar til å oppfylle juridiske krav
- Sunnere arbeidsmiljø
- Betydelig lavere drivstoff- og strømkostnader
Beskyttelse av epitaksialt utstyr
Vanndamp eller fuktighet kondenserer på avkjølte overflater på epitaksialt utstyr, noe som forårsaker korrosjon på komponenter, som i sin tur fører til langsommere prosessering og driftsfeil.
Fordelene:
- Nøyaktig kontrollerte forhold
- Høyere kvalitet
- Forbedret konsistens
- Raskere produksjon
- Lavere driftskostnader
Wafer-produksjonsområdet
Spinnere sprøyter fremkalling på wafer-overflaten under produksjonen, slik at løsemiddelet fordamper raskt og kjøler ned overflaten.
Dette fører til at vanndamp i luften kondenserer på wiferens overflate. Etter hvert som det dannes kondens på waferen, begynner fremkallerens egenskaper å endre seg. Absorpsjon av fuktighet fører også til at polymeren svulmer opp.
Kontroll av relativ fuktighet reduserer duggpunktet til omgivelsesluften, eliminerer kondens på waferens overflate og forhindrer feil og ødeleggelse.
Raskere vakuum nedpumping
For høyt fuktighetsnivå fører til at vakuumutstyr, som kryopumper, går tregt på grunn av mye vanndamp.
Reduksjon av de relative fuktighetsnivåene øker hastigheten på batchprosesseringen og forbedrer produktiviteten.
Fotolitografirom
For høy fuktighet i et fotolitografirom gjør at silikaen absorberer fuktighet, noe som fører til feil adhesjon av fotoresistorer, og dermed belastningsbrudd og overflatedefekter.
