Produzione semiconduttori
Migliorare la qualità della produzione con il controllo dell'umidità e delle emissioni
La produzione di semiconduttori richiede condizioni secche e strettamente controllate. I deumidificatori ad assorbimento Munters forniscono un controllo preciso dell'umidità, creando condizioni di produzione ideali per la produzione e l'assemblaggio.
Un'umidità eccessiva nell'aria causa corrosione dei punti del circuito, condensa sulle superfici del circuito a microchip e un'adesione impropria dei fotoresist, causando un guasto operativo del processo di assemblaggio dei semiconduttori.
I sistemi di deumidificazione con rotore ad assorbimento Munters, leader al mondo, eliminano efficacemente l'umidità dall'aria, consentendo un controllo preciso e costante dell'umidità nelle dry room e nelle camere bianche.
Inoltre, la tecnologia di assorbimento a zeolite ad alta efficienza energetica di Munters cattura e tratta le emissioni di composti organici volatili (VOC) rilasciate dai processi di produzione dei semiconduttori. Prevenendo il rilascio di queste emissioni nell'atmosfera si contribuisce a proteggere la salute umana e l'ambiente.
Abbattimento dei VOC per la produzione di semiconduttori
Area di assemblaggio
Un'umidità eccessiva può influire negativamente sul processo di incollaggio durante la produzione di semiconduttori e circuiti integrati e aumentare i difetti.
Il mascheramento delle linee di circuito per il processo di incisione con composti polimerici fotosensibili, chiamati fotoresist, contribuisce a garantire un'adesione efficace.
A causa della sua natura igroscopica, questo materiale assorbe l'umidità che causa il taglio o il ponticellamento dei circuiti microscopici, con il conseguente guasto dei componenti.
Abbattimento dei VOC per la produzione di semiconduttori
Oltre a creare condizioni dell'aria ottimali, Munters offre una gamma di prodotti per l'abbattimento dei VOC per pulire l'aria di scarico carica di composti organici volatili (VOC).
Il processo di produzione dei semiconduttori produce aria di scarico ricca di VOC. Questi composti sono dannosi per la salute umana e per l'ambiente e devono essere ridotti prima di rilasciare l'aria di scarico nell'atmosfera. Un roto-concentratore VOC contribuisce a ridurre i costi di riduzione delle emissioni concentrando efficacemente i VOC prima dell'abbattimento.
Vantaggi:
- Alta efficienza di distruzione
- Protezione dell'ambiente
- Conformità ai requisiti normativi
- Ambiente di lavoro più sano
- Costi di carburante ed elettricità notevolmente inferiori
Protezione degli impianti epitassiali
Il vapore acqueo o l'umidità si condensano sulle superfici raffreddate degli impianti epitassiali, causando la corrosione dei componenti, con conseguente lavorazione più lenta e guasto operativo.
Vantaggi:
- Condizioni controllate con precisione
- Migliore qualità
- Migliore coerenza
- Produzione più rapida
- Costi operativi inferiori
Produzione di wafer
Gli spinner spruzzano lo sviluppatore sulla superficie del wafer durante la produzione, facendo evaporare rapidamente il solvente e raffreddando la superficie.
Di conseguenza, il vapore acqueo presente nell'aria si condensa sulla superficie del wafer. Man mano che si forma condensa sul wafer, le caratteristiche dello sviluppatore iniziano a cambiare. L'assorbimento di umidità provoca anche il rigonfiamento del polimero.
Il controllo dell'umidità relativa riduce il punto di rugiada dell'aria ambiente, eliminando la condensa sulla superficie del wafer e prevenendo guasti e deterioramento.
Pompa a vuoto più rapida
Livelli di umidità eccessivi rallentano il funzionamento delle apparecchiature per vuoto, come le pompe criogeniche, a causa dell'elevato carico di vapore acqueo.
Riducendo i livelli di umidità relativa si incrementa la velocità di elaborazione dei lotti, migliorando la produttività.
Camera di fotolitografia
In presenza di umidità eccessiva in una stanza di fotolitografia, la silice finisce per assorbire l'umidità con conseguente inadeguata adesione dei fotoresist, il che causa fratture da sollecitazione e difetti superficiali.
