Puolijohteiden valmistus
Paranna valmistuksen laatua kosteuden ja päästöjen hallinnalla
Puolijohteiden valmistus edellyttää tarkasti valvottuja kuivia olosuhteita. Muntersin absorptioilmankuivaimet mahdollistavat tarkan kosteuden hallinnan ja luovat ihanteelliset olosuhteet valmistukseen ja kokoonpanoon.
Ilman liiallinen kosteus aiheuttaa piiripisteiden korroosiota, kondensaatiota mikrosirupiirien pinnoilla ja valonkestävien virheellistä tarttumista, mikä johtaa puolijohteiden kokoonpanoprosessin häiriöihin.
Muntersin maailman johtavat kuivausroottoriin pohjautuvat ilmankuivausjärjestelmät poistavat tehokkaasti kosteutta ilmasta ja mahdollistavat kuiva- ja puhdastilojen tarkan ja yhdenmukaisen kosteuden hallinnan.
Munters tarjoaa lisäksi energiatehokasta zeoliittiadsorptiotekniikkaa puolijohteiden tuotantoprosessista vapautuvien haihtuvien orgaanisten yhdisteiden (VOC) päästöjen talteenottoon ja käsittelyyn. Näiden päästöjen ehkäiseminen auttaa suojelemaan ihmisten terveyttä ja ympäristöä.
Puolijohteiden valmistussovellukset
Asennusalue
Liiallinen kosteus voi vaikuttaa haitallisesti liimausprosessiin puolijohteiden ja integroitujen piirien tuotannon aikana ja lisätä siten vikoja.
Piirijohtojen peittäminen etsausprosessia varten valoherkillä polymeeriyhdisteillä (ns. valonkestävät) auttaa varmistamaan tehokkaan kiinnittymisen.
Hygroskooppisen luonteensa vuoksi tämä materiaali imee kosteutta, mikä johtaa mikroskooppisten piirien katkeamiseen tai silloittamiseen ja voi aiheuttaa komponenttien vioittumisen.
VOC-päästöjen torjunta puolijohteiden valmistuksessa
Ihanteellisen ilmaston luomisen lisäksi Munters tarjoaa valikoiman VOC-päästöjen torjuntatuotteita haihtuvia orgaanisia yhdisteitä (VOC) sisältävän poistoilman puhdistamiseen.
Puolijohteiden valmistusprosessissa syntyy poistoilman mukana poistuvia VOC-päästöjä. Nämä yhdisteet ovat haitallisia ihmisten terveydelle ja ympäristölle, ja niitä on vähennettävä ennen poistoilman päästämistä ilmakehään. VOC-roottorikeskitin auttaa vähentämään päästöjen poistokustannuksia keskittämällä VOC-yhdisteet tehokkaasti ennen torjuntaa.
Edut:
- Korkea käsittelytehokkuus
- Ympäristön suojeleminen
- Lakisääteisten vaatimusten täyttäminen
- Terveellisempi työympäristö
- Merkittävästi alhaisemmat polttoaine- ja sähkökustannukset
Epitaksiaalisten laitteiden suojaus
Vesihöyry tai kosteus kondensoituu epitaksiaalisten laitteiden jäähdytettyihin pintoihin, mikä aiheuttaa korroosiota komponenteissa hidastaen prosessointia ja muodostaen toimintahäiriöitä.
Edut:
- Tarkasti hallitut olosuhteet
- Parempi laatu
- Parempi yhdenmukaisuus
- Nopeampi valmistus
- Alhaisemmat käyttökustannukset
Puolijohdekiekkojen valmistusalue
Spinnerit suihkuttavat kehitettä puolijohdekiekon pinnalle valmistuksen aikana, jolloin liuotin haihtuu nopeasti ja pinta jäähtyy.
Tämän seurauksena ilmassa oleva vesihöyry tiivistyy puolijohdekiekon pinnalle. Kun puolijohdekiekkoon muodostuu kondensaatiota, kehitteen ominaisuudet alkavat muuttua. Kosteuden imeytyminen saa myös polymeerin turpoamaan.
Suhteellisen kosteuden hallinta laskee ympäröivän ilman kastepistettä, poistaa kondensaation puolijohdekiekon pinnalta ja estää vioittumisen ja pilaantumisen.
Nopeampi tyhjiöpumppu alas
Liiallinen kosteus aiheuttaa tyhjiölaitteiden (esim. kryopumppujen) hidastumisen suuren vesihöyrykuorman vuoksi.
Suhteellisen kosteuden vähentäminen nopeuttaa erien käsittelyä ja parantaa tuottavuutta.
Valokuvaushuone
Liiallinen kosteus valokuvaushuoneessa saa piin imemään kosteutta, mikä johtaa valovastusten virheelliseen kiinnittymiseen, mikä aiheuttaa rasitushalkeamia ja pintavikoja.
