Fabricación de semiconductores
Aumenten la calidad de la fabricación con el control de la humedad y las emisiones
La fabricación de semiconductores requiere condiciones secas y muy controladas. Los deshumidificadores desecantes de Munters proporcionan un control preciso de la humedad, lo que crea condiciones ideales para la fabricación y el montaje.
Una humedad excesiva en el aire provoca corrosión en puntos del circuito, condensación en las superficies del circuito de microchips y una adhesión inadecuada de las fotorresistencias, lo que causa un fallo del funcionamiento del proceso de montaje de semiconductores.
Los sistemas de deshumidificación de rotor desecante líderes en el mundo de Munters eliminan eficazmente la humedad del aire, lo que permite un control preciso y uniforme de la humedad en sus salas secas y limpias.
Además, la tecnología de adsorción de zeolita energéticamente eficiente de Munters captura y trata las emisiones de compuestos orgánicos volátiles (COV) de los procesos de producción de semiconductores. Evitar la liberación de estas emisiones a la atmósfera ayuda a proteger la salud humana y el medioambiente.
Aplicaciones en la fabricación de semiconductores
Zona de montaje
Una humedad excesiva puede afectar negativamente al proceso de adhesión durante la producción de semiconductores y circuitos integrados, lo que puede aumentar los defectos.
El enmascaramiento de las líneas del circuito para el proceso de grabado con compuestos poliméricos fotosensibles, llamados fotorresistentes, ayuda a garantizar una adhesión eficaz.
Debido a su naturaleza higroscópica, este material absorbe la humedad, provocando el corte o puenteo de los circuitos microscópicos, lo que puede causar el fallo de los componentes.
Reducción de COV en la fabricación de semiconductores
Además de crear condiciones de aire óptimas, Munters ofrece una gama de productos para la reducción de compuestos orgánicos volátiles (COV) que limpian el aire de salida cargado de estos compuestos.
El proceso de fabricación de semiconductores produce aire de salida rico en COV. Estos compuestos son perjudiciales para la salud humana y el medioambiente, y deben reducirse antes de liberar el aire de salida a la atmósfera. Un concentrador de rotor de COV ayuda a reducir los costes de reducción de emisiones al concentrar eficazmente los COV antes de la reducción.
Ventajas:
- Eficiencia de eliminación alta
- Protege el medioambiente
- Ayuda a cumplir los requisitos legales
- Entorno de trabajo más saludable
- Costes de combustible y electricidad significativamente más bajos
Protección de equipos epitaxiales
El vapor de agua o la humedad se condensan en las superficies frías de los equipos epitaxiales, causando la corrosión de los componentes, lo que provoca un procesamiento más lento y un fallo de funcionamiento.
Ventajas:
- Condiciones controladas con precisión
- Mayor calidad
- Consistencia mejorada
- Producción más rápida
- Costes operativos más bajos
Zona de fabricación de obleas
Los centrifugadores pulverizan un desarrollador sobre la superficie de la oblea durante la fabricación, lo que provoca que el disolvente se evapore rápidamente, enfriando la superficie.
Como resultado, el vapor de agua del aire se condensa en la superficie de la oblea. A medida que se forma condensación en la oblea, las características del desarrollador empiezan a cambiar. La absorción de humedad también hace que el polímero se hinche.
El control de la humedad relativa reduce el punto de rocío del aire ambiente, eliminando la condensación en la superficie de la oblea y evitando fallos y deterioros.
Bombeo de vacío más rápido
Los niveles excesivos de humedad provocan que los equipos de vacío, como las bombas criogénicas, funcionen con lentitud debido a la gran carga de vapor de agua.
La reducción de los niveles de humedad relativa aumenta las velocidades de procesamiento por lotes, lo que mejora la productividad.
Sala de fotolitografía
Una humedad excesiva en una sala de fotolitografía hace que el sílice absorba humedad, causando una adhesión inadecuada de las fotorresistencias, lo que provoca fracturas por tensión y defectos en la superficie.
