Halbleiterfertigung
Steigern Sie die Fertigungsqualität mit Feuchtigkeits- und Emissionskontrolle
Die Halbleiterfertigung erfordert streng kontrollierte, trockene Bedingungen. Sorptionsentfeuchter von Munters bieten eine präzise Feuchteregelung und schaffen ideale Fertigungsbedingungen für Fertigung und Montage.
Übermäßige Feuchtigkeit in der Luft verursacht Korrosion von Schaltkreisen, Kondensation auf den Oberflächen von Mikrochip-Schaltkreisen und unsachgemäße Haftung von Fotoresisten, was zu Betriebsstörungen bei der Halbleitermontage führt.
Die weltweit führenden Sorptionsrotor-Entfeuchtungssysteme von Munters entfernen Feuchtigkeit effektiv aus der Luft und ermöglichen eine präzise und konsistente Feuchteregelung in Ihren Trocken- und Reinräumen.
Darüber hinaus erfasst und behandelt die energieeffiziente Zeolith-Adsorptionstechnologie von Munters die Emissionen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) aus Halbleiterproduktionsprozessen. Die Verhinderung der Freisetzung dieser Emissionen in die Atmosphäre trägt zum Schutz der menschlichen Gesundheit und der Umwelt bei.
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Anwendungen in der Halbleiterfertigung
Montagefläche
Übermäßige Feuchtigkeit kann den Klebeprozess bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten Schaltkreisen beeinträchtigen und die Fehlerquote erhöhen.
Die Abdeckung der Schaltkreise für den Ätzprozess mit lichtempfindlichen Polymerverbindungen, den so genannten Fotolacken, trägt dazu bei, eine effektive Verbindung zu gewährleisten.
Aufgrund seiner hygroskopischen Beschaffenheit nimmt dieses Material Feuchtigkeit auf, wodurch die mikroskopischen Schaltkreise durchtrennt oder überbrückt werden, was zum Ausfall der Komponenten führen kann.
VOC-Reduzierung für die Halbleiterfertigung
Neben der Schaffung optimaler Luftbedingungen bietet Munters eine Reihe von Produkten zur Reinigung von Fortluft, die mit flüchtigen organischen Verbindungen (VOC) belastet ist.
Der Halbleiterfertigungsprozess erzeugt VOC-reiche Abluft. Diese Verbindungen sind schädlich für die menschliche Gesundheit und die Umwelt und müssen reduziert werden, bevor Fortluft in die Atmosphäre freigesetzt wird. Ein VOC-Rotorkonzentrator trägt dazu bei, die Kosten für die Emissionsreduzierung zu senken, indem er die VOC vor der Reduzierung effektiv konzentriert.
Vorteile:
- Hohe Zerstörungseffizienz
- Schonung der Umwelt
- Erfüllung gesetzlicher Anforderungen
- Gesündere Arbeitsumgebung
- Deutlich niedrigere Kraftstoff- und Stromkosten
Schutz von Epitaxie-Anlagen
Wasserdampf oder Feuchtigkeit kondensiert auf den gekühlten Oberflächen von Epitaxie-Anlagen und führt dazu, dass die Bauteile korrodieren, was die Verarbeitung verlangsamt und zu Betriebsausfällen führt.
Vorteile:
- Präzise geregelte Bedingungen
- Höhere Qualität
- Bessere Konsistenz
- Schnellere Produktion
- Niedrigere Betriebskosten
Waferfertigungsbereich
Spinner sprühen während der Herstellung Entwickler auf die Waferoberfläche, wodurch das Lösungsmittel schnell verdampft und die Oberfläche abkühlt.
Infolgedessen kondensiert der Wasserdampf in der Luft auf der Waferoberfläche. Mit der Kondensation auf dem Wafer beginnen sich die Eigenschaften des Entwicklers zu verändern. Die Feuchtigkeitsabsorption bewirkt auch, dass das Polymer aufquellt.
Durch die Kontrolle der relativen Luftfeuchtigkeit wird der Taupunkt der Umgebungsluft gesenkt, wodurch die Kondensation auf der Oberfläche des Wafers verhindert wird und Ausfälle und Verderb vermieden werden.
Schnelleres Vakuumabpumpen
Übermäßige Luftfeuchtigkeit führt dazu, dass Vakuumgeräte wie Kryopumpen aufgrund der hohen Wasserdampfbelastung langsam arbeiten.
Die Reduzierung der relativen Luftfeuchtigkeit erhöht die Chargenverarbeitungsgeschwindigkeiten und verbessert die Produktivität.
Fotolithografie-Raum
Zu hohe Luftfeuchtigkeit in einem Fotolithografie-Raum führt dazu, dass das Siliziumdioxid Feuchtigkeit aufnimmt, was wiederum die Haftung der Fotowiderstände beeinträchtigt und Spannungsbrüche und Oberflächenfehler verursacht.
