Fremstilling af halvledere
Øg produktionskvaliteten med fugt- og emissionskontrol
Fremstilling af halvledere kræver nøje kontrollerede, tørre forhold. Munters sorptionsaffugtere giver præcis fugtighedsstyring og skaber ideelle produktionsbetingelser for produktion og samling.
For megen fugt i luften forårsager korrosion af kredsløbspunkter, kondens på mikrochipkredsløbets overflader og forkert vedhæftning af fotoresistorer, hvilket forårsager driftsfejl i halvledersamlingsprocessen.
Munters’ verdensførende sorptionsrotoraffugtningssystemer fjerner effektivt fugt fra luften og muliggør præcis og ensartet fugtighedskontrol i jeres tørre rum og renrum.
Derudover opfanger og behandler Munters’ energieffektive zeolitadsorptionsteknologi emissioner af flygtige organiske forbindelser (VOC) fra halvlederproduktionsprocesser. Forebyggelse af udledning af disse emissioner til atmosfæren bidrager til at beskytte menneskers sundhed og miljøet.
Anvendelsesområder inden for halvlederproduktion
Samlingsplads
For meget fugt kan påvirke limningsprocessen negativt under produktion af halvledere og integrerede kredsløb og øge defekter.
Afdækning af kredsløbslinjer til ætsningsprocessen med lysfølsomme polymerforbindelser kaldet fotoresistorer hjælper med at sikre effektiv limning.
På grund af dets hygroskopiske karakter absorberer dette materiale fugt, hvilket resulterer i skæring eller brodannelse af de mikroskopiske kredsløb, hvilket kan forårsage komponentfejl.
VOC-reduktion til halvlederproduktion
Ud over at skabe optimale luftforhold tilbyder Munters en række VOC-reduktionsprodukter til rensning af udsugningsluft fyldt med flygtige organiske forbindelser (VOC'er).
Fremstillingsprocessen af halvledere producerer udsugningsluft med et højt VOC-indhold. Disse forbindelser er skadelige for menneskers sundhed og miljøet og skal reduceres, før udsugningsluften udledes i atmosfæren. En VOC-rotorkoncentrator hjælper med at reducere omkostningerne til emissionsreduktion ved effektivt at koncentrere VOC'erne før reduktion.
Fordele:
- Høj ressourceeffektivitet
- Miljømæssig beskyttelse
- Opfylder lovkravene
- Et sundere arbejdsmiljø
- Betydeligt lavere brændstof- og elomkostninger
Beskyttelse af epitaksialt udstyr
Vanddamp eller fugt kondenserer på afkølede overflader af epitaksialt udstyr, hvilket forårsager korrosion af komponenter, hvilket resulterer i langsommere behandling og driftsfejl.
Fordele:
- Nøjagtigt kontrollerede forhold
- Højere kvalitet
- Forbedret ensartethed
- Hurtigere produktion
- Lavere driftsomkostninger
Areal til fremstilling af halvlederbrikker
Spinnere sprøjter fremkalder på halvlederbrikkens overflade under fremstillingen, hvilket får opløsningsmidlet til at fordampe hurtigt og afkøle overfladen.
Som følge heraf kondenserer vanddampen i luften på halvlederbrikkens overflade. Efterhånden som der dannes kondens på halvlederbrikken, begynder fremkalderens egenskaber at ændre sig. Fugtabsorption får også polymeren til at hæve.
Kontrol af den relative luftfugtighed reducerer dugpunktet for den omgivende luft, hvilket eliminerer kondens på halvlederbrikkens overflade og forhindrer fejl og ødelæggelse.
Hurtigere vakuumpump-down
For høje fugtighedsniveauer medfører, at vakuumudstyr som f.eks. kryopumper kører langsomt på grund af den store vanddampbelastning.
Reduktion af den relative luftfugtighed øger batchbehandlingshastigheden og forbedrer produktiviteten.
Fotolitografirum
For høj luftfugtighed i et fotolitografirum får kiselsyren til at absorbere fugt, hvilket resulterer i forkert vedhæftning af fotoresistorer, hvilket forårsager spændingsbrud og overfladedefekter.
