Výroba polovodičů
Zvyšte kvalitu výroby díky regulaci vlhkosti a emisí
Výroba polovodičů vyžaduje přísně kontrolované, suché podmínky. Vysoušecí odvlhčovače Munters zajišťují přesnou regulaci vlhkosti a vytvářejí ideální výrobní podmínky pro výrobu a montáž.
Nadměrná vlhkost vzduchu způsobuje korozi v místech obvodů, kondenzaci na površích mikročipových obvodů a nesprávnou adhezi fotorezistorů, což způsobuje provozní selhání procesu kompletace polovodičů.
Vynikající odvlhčovací systémy Munters s vysoušecím rotorem účinně odstraňují vlhkost ze vzduchu a umožňují přesnou a konzistentní regulaci vlhkosti v suchých a čistých prostorách.
Kromě toho energeticky účinná technologie adsorpce zeolitem společnosti Munters zachycuje a zpracovává emise těkavých organických sloučenin (VOC) z výrobních procesů polovodičů. Zabránění uvolnění těchto emisí do ovzduší pomáhá chránit lidské zdraví a životní prostředí.
Aplikace ve výrobě polovodičů
Montážní plocha
Nadměrná vlhkost může nepříznivě ovlivnit proces lepení při výrobě polovodičů a integrovaných obvodů a zvýšit počet vad.
Zakrytí linií obvodu pro proces leptání fotosenzitivními polymerními sloučeninami nazývanými fotorezistory pomáhá zajistit efektivní lepení.
Vzhledem k jeho hygroskopické povaze absorbuje tento materiál vlhkost, což vede k přerušení nebo přemostění mikroskopických obvodů a může dojít k selhání komponent.
Omezování emisí těkavých organických sloučenin při výrobě polovodičů
Kromě vytváření optimálních podmínek vzduchu nabízí společnost Munters řadu produktů pro omezování emisí těkavých organických sloučenin (VOC) pro čištění odpadního vzduchu obsahujícího těkavé organické sloučeniny (VOC).
Při výrobě polovodičů vzniká odpadní vzduch s vysokým obsahem těkavých organických látek. Tyto sloučeniny jsou škodlivé pro lidské zdraví a životní prostředí a musí být před uvolněním odpadního vzduchu do ovzduší redukovány. Rotorový koncentrátor VOC pomáhá snižovat náklady na omezování emisí účinnou koncentrací VOC před tímto procesem.
Výhody:
- Vysoká účinnost destrukce
- Šetrné k životnímu prostředí
- Pomáhá plnit legislativní požadavky
- Zdravější pracovní prostředí
- Výrazně nižší náklady na palivo a elektřinu
Ochrana epitaxního zařízení
Vodní pára nebo vlhkost kondenzuje na chlazených površích epitaxního zařízení, což způsobuje korozi součástí a pomalejší zpracování a provozní selhání.
Výhody:
- Přesně řízené podmínky
- Vyšší kvalita
- Lepší konzistence
- Rychlejší výroba
- Nižší provozní náklady
Oblast výroby waferů
Odstředivky rozstřikují vyvíječ na povrch waferu během výroby, což způsobuje rychlé odpařování rozpouštědla a chlazení povrchu.
V důsledku toho vodní pára ve vzduchu kondenzuje na povrchu waferu. Jak se na waferu vytváří kondenzace, začíná se měnit charakteristika vyvíječe. Absorpce vlhkosti také způsobuje bobtnání polymeru.
Regulace relativní vlhkosti snižuje rosný bod okolního vzduchu, čímž se eliminuje kondenzace na povrchu destičky a zabraňuje selhání a zničení.
Rychlejší vytváření vakua
Nadměrná vlhkost způsobuje, že vakuová zařízení, jako jsou kryogenní čerpadla, zpomalují provoz v důsledku vysokého zatížení vodními párami.
Snížení relativní vlhkosti zvyšuje rychlost zpracování dávek a zvyšuje produktivitu.
Ofsetový tisk
Nadměrná vlhkost v prostoru ofsetového tisku způsobuje, že oxid křemičitý absorbuje vlhkost, což vede k nesprávné adhezi fotorezistorů a vzniku prasklin a povrchových vad.
